原標(biāo)題：從“門外漢”到“羅大師”
身處數(shù)字時代，芯片在我們生活中隨處可見。小到手機(jī)、電腦、身份證、銀行卡等日常用品，大到互聯(lián)網(wǎng)、云計算、大數(shù)據(jù)等領(lǐng)先科技，無不以芯片的進(jìn)步作為支撐。在只有一枚指甲蓋大小的芯片上，密布著上萬米金屬導(dǎo)絲，它們甚至比頭發(fā)絲的千分之一還要細(xì)。靠人工去焊接顯然不現(xiàn)實(shí)，制作這些布線的唯一方法就是用高純度金屬靶材通過濺射的方式去完成。
作為浙江寧波江豐電子材料股份有限公司首席技師，羅明浩深耕半導(dǎo)體材料設(shè)備及工藝研究20多年，他主導(dǎo)了我國第一條超大規(guī)模集成電路用靶材生產(chǎn)線關(guān)鍵設(shè)備的設(shè)計與制作，打破了國外技術(shù)壟斷。從一名普通電工到全國勞動模范、最美職工，羅明浩始終以工匠之心錘煉勞動技能。
羅明浩用“懵懵懂懂”來形容自己初入行的感受。2005年，電工出身的羅明浩加入江豐電子。彼時，我國芯片制造所需的超高純材料和濺射靶材均依賴進(jìn)口，從原料到設(shè)備近乎一張白紙?！暗谝淮谓佑|‘靶材’概念，連聽都沒有聽說過。”羅明浩告訴記者，沒有專家指導(dǎo)，也無資料參考，他只能和團(tuán)隊從零開始，一個環(huán)節(jié)一個環(huán)節(jié)去研究。
靶材生產(chǎn)需要經(jīng)過鍛打、壓延、熱處理等多道工序，對爐溫控制要求極高。為了保證1攝氏度的溫差，羅明浩和同事們先后設(shè)計了12套方案，畫了幾百張圖紙，不斷改進(jìn)爐腔風(fēng)道走向、風(fēng)機(jī)旋轉(zhuǎn)方案和扇葉選型，逐一攻克系列難題。
憑借在電機(jī)焊接、機(jī)器維修、設(shè)備改造等方面的積累，羅明浩結(jié)合半導(dǎo)體靶材設(shè)備需求自制了300余套國產(chǎn)設(shè)備，節(jié)約成本上億元。如今，由他主導(dǎo)設(shè)計的超大規(guī)模集成電路用濺射靶材生產(chǎn)線關(guān)鍵設(shè)備所生產(chǎn)的產(chǎn)品，已被成功應(yīng)用到世界一流企業(yè)的先進(jìn)制程。
“靶材能自己生產(chǎn)，但靶材的原料仍然依賴進(jìn)口，成本壓力可想而知?！绷_明浩介紹，制造靶材的金屬鋁純度需要達(dá)到99.9999%，而普通金屬一般只能達(dá)到99.8%，盡管差距只有0.19%，但價值卻相差幾十倍。2011年，為突破原材料局限，江豐電子在廠房內(nèi)單獨(dú)開辟出一個金屬精煉鑄造室。有了場地，羅明浩便開始全身心地投入新課題的研究。
鑄造過程中，各類金屬元素之間存在錯綜復(fù)雜的關(guān)系。為了找到元素間的平衡，將含量控制在標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)，羅明浩和同事們四處尋找合適的設(shè)備材料。2015年，國內(nèi)第一個高純鋁精煉鑄造系統(tǒng)開始運(yùn)轉(zhuǎn)，再次打破了國外的技術(shù)壟斷。
掌握了金屬精煉鑄造工藝，羅明浩并未感覺“大功告成”。在他心中，始終有個“隱痛”無法釋懷。為了檢測金屬是否達(dá)到純度，江豐電子從國外進(jìn)口了尖端大型分析儀器。但機(jī)器初到中國就“水土不服”。由于設(shè)備復(fù)雜、精密程度高、維修難度大，只有個別外國專家掌握這項技術(shù)，聘請他們過來維修花費(fèi)高、周期長?！巴鈬诵?，中國人就不行？”羅明浩選擇繼續(xù)迎難攀高，他要與國外頂尖專家“一試高下”。從此，羅明浩在檢測室里安了家。經(jīng)過半年摸索和研究，他終于把這臺高精尖儀器恢復(fù)到正常水平，完全適應(yīng)了中國現(xiàn)場的要求，并順利檢測出金屬純度十億分之一的微量元素，為達(dá)到半導(dǎo)體靶材對純度的極高要求打下了扎實(shí)的基礎(chǔ)。
“我始終堅信，一雙沾滿機(jī)油的手，也能托起中國芯。一顆扎根一線的匠心，同樣能點(diǎn)燃科技自強(qiáng)的星火。”從材料制備到靶材生產(chǎn)再到分析檢測，羅明浩從一名對靶材毫無了解的“門外漢”蛻變?yōu)樾袠I(yè)內(nèi)響當(dāng)當(dāng)?shù)摹傲_大師”，他用20多年的追趕和超越詮釋了對工匠精神的堅守。
“江豐電子的成功，既有‘老師傅’經(jīng)驗(yàn)?zāi)毜墓に嚳谠E，也有‘90后’技術(shù)員數(shù)智重構(gòu)的生產(chǎn)邏輯。”如今，羅明浩把目光聚焦到培養(yǎng)年輕技術(shù)人員身上?！翱萍甲灾鲃?chuàng)新之路不是單人百米沖刺，而是代代接力的馬拉松。”在羅明浩看來，制造業(yè)的變化日新月異，需要更多有見識、有恒心、有毅力的年輕人，將所學(xué)知識和技術(shù)轉(zhuǎn)化成生產(chǎn)力。正是這種傳統(tǒng)與創(chuàng)新的激蕩交融，讓半導(dǎo)體材料的品質(zhì)在淬煉中越發(fā)精進(jìn)。